半导体中心零部件项目
时间: 2025-06-15 13:50:24 | 作者: 矿用分选
总投资15.5亿元，聚集立式炉管、量测设备、涂胶显影设备等芯片制作前道工序关键设备及零部件出产，建成后将完结半导体中心零部件“阜阳造”。其钌靶材产品已应用于台积电5纳米以下先进工艺。
前锋精科技能打破作为国产刻蚀设备中心零部件供货商，其7nm及以下制程中心部件量产才能助力国内半导体设备厂商国产化进程。
浙江机器人工业集团半导体基地坐落宁波的半导体专用设备及中心零部件基地总投资20亿元，规划新建34.4万平方米厂房，估计2025年3月后发动投标5；2025年3月已完结勘测规划投标预公示。
经开区工业集群以太湖湾信息园为中心，集聚近60家生态圈企业，推进研微半导体等企业落地ALD、PECVD设备及特征外延技能研制。
研微半导体专心高端ALD、PECVD设备研制，产品掩盖集成电路、功率器材等范畴，强化国产设备世界竞赛力。
睿宝真空查验测验的项目成都高新基地估计2025年6月投用，聚集半导体真空查验测验仪器及传感器研制，配套国家级实验室完善工业链检测环节。
半导体中心零部件工业面对世界化竞赛加重、供应链重构等压力，但经过技能自主化（如东微电子靶材技能）、区域集群化（如阜阳、宁波布局）及工业链协同（如武汉经开区生态圈），国内企业正加快打破瓶颈。
